等离子质谱仪洁净实验室的建设

李军东

大庆油田有限责任公司测试技术服务分公司   黑龙江省大庆市   163453

摘要：为满足等离子质谱仪（ICP-MS）开发、应用条件，需要建立洁净技术实验室。本文从洁净技术概念谈起，结合等离子质谱仪（ICP-MS）安装使用的前提条件引入洁净实验室的建设指标、主要技术参数(洁净度、正压)以及解决方法等。说明了洁净室建设的过程及需要注意的问题，达到与同行互相交流学习的愿望。